电化学
電化學
전화학
2005年
2期
228-231
,共4页
焦磷酸盐镀铜%临界起始电流密度%结合强度%XPS%深度刻蚀
焦燐痠鹽鍍銅%臨界起始電流密度%結閤彊度%XPS%深度刻蝕
초린산염도동%림계기시전류밀도%결합강도%XPS%심도각식
应用恒电流法研究了铁基体上焦磷酸盐电镀铜电位-时间变化类型与镀层结合强度之间的关系.提出了临界起始电流密度(DKC)概念.当起始工作电流DKI大于DKC时,铁电极首先被极化至铁表面的活化电位,即基体表面被活化,随后极化至铜的析出电位,使铜层沉积在活化的铁基体表面上,形成具有良好结合强度的铜镀层.反之,如DKI小于DKC,则铜层只能在"钝化"的含氧层表面上析出,得到的镀层结合强度很差.由氩离子溅射深度刻蚀和X-射线光电子能谱(XPS)检测出结合强度差的镀层和基体间界面含氧层的存在.调整工艺条件,优化了焦磷酸盐直接镀铜工艺,可降低工艺的DKC,得到与铁基体具有良好结合强度的电镀层.
應用恆電流法研究瞭鐵基體上焦燐痠鹽電鍍銅電位-時間變化類型與鍍層結閤彊度之間的關繫.提齣瞭臨界起始電流密度(DKC)概唸.噹起始工作電流DKI大于DKC時,鐵電極首先被極化至鐵錶麵的活化電位,即基體錶麵被活化,隨後極化至銅的析齣電位,使銅層沉積在活化的鐵基體錶麵上,形成具有良好結閤彊度的銅鍍層.反之,如DKI小于DKC,則銅層隻能在"鈍化"的含氧層錶麵上析齣,得到的鍍層結閤彊度很差.由氬離子濺射深度刻蝕和X-射線光電子能譜(XPS)檢測齣結閤彊度差的鍍層和基體間界麵含氧層的存在.調整工藝條件,優化瞭焦燐痠鹽直接鍍銅工藝,可降低工藝的DKC,得到與鐵基體具有良好結閤彊度的電鍍層.
응용항전류법연구료철기체상초린산염전도동전위-시간변화류형여도층결합강도지간적관계.제출료림계기시전류밀도(DKC)개념.당기시공작전류DKI대우DKC시,철전겁수선피겁화지철표면적활화전위,즉기체표면피활화,수후겁화지동적석출전위,사동층침적재활화적철기체표면상,형성구유량호결합강도적동도층.반지,여DKI소우DKC,칙동층지능재"둔화"적함양층표면상석출,득도적도층결합강도흔차.유아리자천사심도각식화X-사선광전자능보(XPS)검측출결합강도차적도층화기체간계면함양층적존재.조정공예조건,우화료초린산염직접도동공예,가강저공예적DKC,득도여철기체구유량호결합강도적전도층.
