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현대현시
ADVANCED DISPLAY
2007年
10期
54-56
,共3页
刘锋%于凯%李相津%李正蘍%李斗熙
劉鋒%于凱%李相津%李正蘍%李鬥熙
류봉%우개%리상진%리정훈%리두희
TFT-LCD%清洗%毛刷%Particle去除率
TFT-LCD%清洗%毛刷%Particle去除率
TFT-LCD%청세%모쇄%Particle거제솔
以玻璃基板表面残留的各种微粒(Particles)的去除率为依据,研究TFT-LCD生产清洗工艺中毛刷的旋转方向、旋转速度和毛刷相对玻璃的压入量等因素对玻璃基板表面particles清洗效果的影响,探讨这些因素的作用机理,为TFT-LCD生产以提供最佳的清洗工艺方法.
以玻璃基闆錶麵殘留的各種微粒(Particles)的去除率為依據,研究TFT-LCD生產清洗工藝中毛刷的鏇轉方嚮、鏇轉速度和毛刷相對玻璃的壓入量等因素對玻璃基闆錶麵particles清洗效果的影響,探討這些因素的作用機理,為TFT-LCD生產以提供最佳的清洗工藝方法.
이파리기판표면잔류적각충미립(Particles)적거제솔위의거,연구TFT-LCD생산청세공예중모쇄적선전방향、선전속도화모쇄상대파리적압입량등인소대파리기판표면particles청세효과적영향,탐토저사인소적작용궤리,위TFT-LCD생산이제공최가적청세공예방법.
