离子束溅射沉积Ir膜真空紫外反射特性研究
리자속천사침적Ir막진공자외반사특성연구
Reflectance of Ir Layer in Vacuum Ultraviolet Wavelength Region Deposited by Ion Beam Sputtering
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2009年 5期 1207-1211 ,共5页

    干蜀毅%刘正坤%盛斌%徐向东%洪义麟%刘颍%周洪军%霍同林%付绍军

    간촉의%류정곤%성빈%서향동%홍의린%류영%주홍군%곽동림%부소군

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    진공자외반사막%진공자외반사솔%Ir막%리자속천사
    根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术,在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜,研究了基片、表面厚度、离子束能量及镀后热处理对Ir膜反射率的影响,在波长120 nm处获得了近30%正入射反射率.
    근거흡수재료기저상단층금속막수학계산모형,대불동기편상각충후도적Ir막진공자외반사솔진행료우화계산.채용리자속천사침적기술,재석영、K9파리화Si기편상침적료불동후도적Ir막,연구료기편、표면후도、리자속능량급도후열처리대Ir막반사솔적영향,재파장120 nm처획득료근30%정입사반사솔.
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