航空材料学报
航空材料學報
항공재료학보
JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS
2010年
2期
51-57
,共7页
姜春生%刘政%郭世斌%唐伟忠%吕反修
薑春生%劉政%郭世斌%唐偉忠%呂反脩
강춘생%류정%곽세빈%당위충%려반수
金刚石膜%黑色缺陷%水平集方法%生长参数
金剛石膜%黑色缺陷%水平集方法%生長參數
금강석막%흑색결함%수평집방법%생장삼수
提出了沉积温度突变时黑色缺陷形成的孪晶机制模型.这一模型提出的基本假设为:沉积温度改变时,金刚石膜的表面上产生贯穿型的孪晶,孪晶以及原来的晶粒的各晶面均将按α2d所规定的生长速率扩张,在生长时相邻晶粒的晶界处形成了一种形如"峡谷"状的、相邻晶面夹角过小的局部环境,后者将导致活性气体扩散的过程难于进行,从而形成黑色缺陷.在此假设的基础上,利用水平集方法对此模型进行了二维的模拟,并通过实验进行了验证.模拟及实验的结果表明,在金刚石膜沉积的过程中,沉积温度的突变将通过在众多金刚石晶粒的表面诱发产生孪晶,显著提高金刚石膜中黑色缺陷的形成几率.
提齣瞭沉積溫度突變時黑色缺陷形成的孿晶機製模型.這一模型提齣的基本假設為:沉積溫度改變時,金剛石膜的錶麵上產生貫穿型的孿晶,孿晶以及原來的晶粒的各晶麵均將按α2d所規定的生長速率擴張,在生長時相鄰晶粒的晶界處形成瞭一種形如"峽穀"狀的、相鄰晶麵夾角過小的跼部環境,後者將導緻活性氣體擴散的過程難于進行,從而形成黑色缺陷.在此假設的基礎上,利用水平集方法對此模型進行瞭二維的模擬,併通過實驗進行瞭驗證.模擬及實驗的結果錶明,在金剛石膜沉積的過程中,沉積溫度的突變將通過在衆多金剛石晶粒的錶麵誘髮產生孿晶,顯著提高金剛石膜中黑色缺陷的形成幾率.
제출료침적온도돌변시흑색결함형성적련정궤제모형.저일모형제출적기본가설위:침적온도개변시,금강석막적표면상산생관천형적련정,련정이급원래적정립적각정면균장안α2d소규정적생장속솔확장,재생장시상린정립적정계처형성료일충형여"협곡"상적、상린정면협각과소적국부배경,후자장도치활성기체확산적과정난우진행,종이형성흑색결함.재차가설적기출상,이용수평집방법대차모형진행료이유적모의,병통과실험진행료험증.모의급실험적결과표명,재금강석막침적적과정중,침적온도적돌변장통과재음다금강석정립적표면유발산생련정,현저제고금강석막중흑색결함적형성궤솔.
