影像科学与光化学
影像科學與光化學
영상과학여광화학
IMAGING SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2011年
6期
417-429
,共13页
许箭%陈力%田凯军%胡睿%李沙瑜%王双青%杨国强
許箭%陳力%田凱軍%鬍睿%李沙瑜%王雙青%楊國彊
허전%진력%전개군%호예%리사유%왕쌍청%양국강
光刻胶%193 nm光刻%EUV光刻%化学放大光刻胶%分子玻璃
光刻膠%193 nm光刻%EUV光刻%化學放大光刻膠%分子玻璃
광각효%193 nm광각%EUV광각%화학방대광각효%분자파리
本文简述了光刻技术及光刻胶的发展过程,并对应用于193纳米光刻和下一代EUV光刻的光刻胶材料的研究进展进行了综述,特别对文献中EUV光刻胶材料的研发进行了较为详细的介绍,以期对我国先进光刻胶的研发工作有所帮助.
本文簡述瞭光刻技術及光刻膠的髮展過程,併對應用于193納米光刻和下一代EUV光刻的光刻膠材料的研究進展進行瞭綜述,特彆對文獻中EUV光刻膠材料的研髮進行瞭較為詳細的介紹,以期對我國先進光刻膠的研髮工作有所幫助.
본문간술료광각기술급광각효적발전과정,병대응용우193납미광각화하일대EUV광각적광각효재료적연구진전진행료종술,특별대문헌중EUV광각효재료적연발진행료교위상세적개소,이기대아국선진광각효적연발공작유소방조.
