Nb/A1- AlOx/Nb隧道结的制备研究
Nb/A1- AlOx/Nb수도결적제비연구
Fabrication on Nb/A1 - AlOx/Nb tunnel junction
  • 万方数据
    低温与超导 저온여초도
    CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
    2012年 6期 1-3 ,共3页

    肖伟%曹春海%李梦月%许钦印%卢亚鹏%康琳%许伟伟%陈健%吴培亨

    초위%조춘해%리몽월%허흠인%로아붕%강림%허위위%진건%오배형

    Nb/A1 - AlOx/Nb%隧道结%制备工艺 Nb/A1 - AlOx/Nb%隧道結%製備工藝
    Nb/A1 - AlOx/Nb%수도결%제비공예
    通过改进RIE的刻蚀工艺和绝缘层的生长工艺,在SiO2/Si衬底上制备出了性能良好的超导Nb/A1 AlOx/Nb隧道结.采用CF4作为刻蚀气体,降低了RIE对结势垒层和衬底SiO2层的刻蚀.使用PECVD生长绝缘层SiO2,改善了绝缘性能,从而降低了隧道结的漏电流.
    통과개진RIE적각식공예화절연층적생장공예,재SiO2/Si츤저상제비출료성능량호적초도Nb/A1 AlOx/Nb수도결.채용CF4작위각식기체,강저료RIE대결세루층화츤저SiO2층적각식.사용PECVD생장절연층SiO2,개선료절연성능,종이강저료수도결적루전류.
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