低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2006年
2期
134-137
,共4页
慕利娟%朴云龙%张晓平%赵永刚%魏斌%曹必松%江少林
慕利娟%樸雲龍%張曉平%趙永剛%魏斌%曹必鬆%江少林
모리연%박운룡%장효평%조영강%위빈%조필송%강소림
氩离子刻蚀%高温超导滤波器%零电阻Tc
氬離子刻蝕%高溫超導濾波器%零電阻Tc
아리자각식%고온초도려파기%령전조Tc
本文研究了高温超导薄膜表面经氩离子不同程度刻蚀后其物理性能的变化,并采用离子刻蚀的方法设计制备了一个四节超导滤波器.YBa 2Cu 3O 7- x (YBCO)薄膜表面经氩离子适当厚度刻蚀后的测试结果表明,薄膜的零电阻超导临界温度 T c 随刻蚀时间适当的增加而提高,但过度刻蚀会带来电阻率的增大及转变宽度加宽.经SEM观测,刻蚀后薄膜表面的颗粒减少,趋于平整,通过XRD分析,离子刻蚀使薄膜晶格常数 c 发生了变化,同时测得超导薄膜的临界电流密度 J c 基本保持不变.这一工作表明氩离子刻蚀对薄膜的氧含量及氧分布有一定的调控作用,并能提高薄膜的平整度,而且用此工艺制备出的超导滤波器显示出良好的微波特性,各项指标均达到了设计要求.这些研究对高温超导薄膜在微波电路中的应用提供了有利的帮助.
本文研究瞭高溫超導薄膜錶麵經氬離子不同程度刻蝕後其物理性能的變化,併採用離子刻蝕的方法設計製備瞭一箇四節超導濾波器.YBa 2Cu 3O 7- x (YBCO)薄膜錶麵經氬離子適噹厚度刻蝕後的測試結果錶明,薄膜的零電阻超導臨界溫度 T c 隨刻蝕時間適噹的增加而提高,但過度刻蝕會帶來電阻率的增大及轉變寬度加寬.經SEM觀測,刻蝕後薄膜錶麵的顆粒減少,趨于平整,通過XRD分析,離子刻蝕使薄膜晶格常數 c 髮生瞭變化,同時測得超導薄膜的臨界電流密度 J c 基本保持不變.這一工作錶明氬離子刻蝕對薄膜的氧含量及氧分佈有一定的調控作用,併能提高薄膜的平整度,而且用此工藝製備齣的超導濾波器顯示齣良好的微波特性,各項指標均達到瞭設計要求.這些研究對高溫超導薄膜在微波電路中的應用提供瞭有利的幫助.
본문연구료고온초도박막표면경아리자불동정도각식후기물이성능적변화,병채용리자각식적방법설계제비료일개사절초도려파기.YBa 2Cu 3O 7- x (YBCO)박막표면경아리자괄당후도각식후적측시결과표명,박막적령전조초도림계온도 T c 수각식시간괄당적증가이제고,단과도각식회대래전조솔적증대급전변관도가관.경SEM관측,각식후박막표면적과립감소,추우평정,통과XRD분석,리자각식사박막정격상수 c 발생료변화,동시측득초도박막적림계전류밀도 J c 기본보지불변.저일공작표명아리자각식대박막적양함량급양분포유일정적조공작용,병능제고박막적평정도,이차용차공예제비출적초도려파기현시출량호적미파특성,각항지표균체도료설계요구.저사연구대고온초도박막재미파전로중적응용제공료유리적방조.
