微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析
미파ECR등리자체증강자공천사제비SiNx박막급기성능분석
Characterization of silicon nitride films prepared by MW-ECR magnetron sputtering
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2006年 3期 1363-1368 ,共6页

    丁万昱%徐军%李艳琴%朴勇%高鹏%邓新绿%董闯

    정만욱%서군%리염금%박용%고붕%산신록%동틈

    SiNx%磁控溅射%傅里叶变换红外吸收光谱%X射线电子谱 SiNx%磁控濺射%傅裏葉變換紅外吸收光譜%X射線電子譜
    SiNx%자공천사%부리협변환홍외흡수광보%X사선전자보
    利用微波ECR磁控反应溅射法在室温下制备无氢SiNx薄膜.通过傅里叶红外光谱、X射线电子谱、膜厚仪、纳米硬度仪、原子力显微镜等分析手段,分析了N2流量、Si靶溅射功率等实验参数对SiNx薄膜结构、化学配比以及机械性质的影响.结果表明,SiNx薄膜中Si-N结构、化学配比及机械性质与等离子体中的Si元素含量关系密切,随着N2流量的增加或者Si靶溅射功率的降低,等离子体中的Si元素含量降低,SiNx薄膜结构、化学配比及硬度发生变化,红外光谱发生偏移,硬度下降,沉积速率降低.
    이용미파ECR자공반응천사법재실온하제비무경SiNx박막.통과부리협홍외광보、X사선전자보、막후의、납미경도의、원자력현미경등분석수단,분석료N2류량、Si파천사공솔등실험삼수대SiNx박막결구、화학배비이급궤계성질적영향.결과표명,SiNx박막중Si-N결구、화학배비급궤계성질여등리자체중적Si원소함량관계밀절,수착N2류량적증가혹자Si파천사공솔적강저,등리자체중적Si원소함량강저,SiNx박막결구、화학배비급경도발생변화,홍외광보발생편이,경도하강,침적속솔강저.
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