北京师范大学学报（自然科学版）
北京師範大學學報（自然科學版）
북경사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
2008年
5期
487-490
,共4页
周奎%张旭%覃礼钊%廖斌%吴先映
週奎%張旭%覃禮釗%廖斌%吳先映
주규%장욱%담례쇠%료빈%오선영
磁过滤阴极真空弧法(FCVA)%纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜%气体流量
磁過濾陰極真空弧法(FCVA)%納米nc-ZrCN/a-C:H(N)複閤膜%氣體流量
자과려음겁진공호법(FCVA)%납미nc-ZrCN/a-C:H(N)복합막%기체류량
采用磁过滤阴极真空弧法,以C2H2和N2混合气体为反应气体在单晶硅上沉积纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜, 用X射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)和X射线电子能谱(XPS)研究了薄膜的成分和结构.实验结果表明薄膜结构是由ZrCN晶粒镶嵌在无定形碳和碳氮化合物基体中;膜中的化合键主要以Zr-C, C=C(sp2)和C-C(sp3)形式存在;随着混合气体流量的增加,薄膜的锆原子分数减小,而N和C的原子分数逐渐增大.
採用磁過濾陰極真空弧法,以C2H2和N2混閤氣體為反應氣體在單晶硅上沉積納米nc-ZrCN/a-C:H(N)複閤膜, 用X射線衍射(XRD)、掃描電鏡的能譜儀(SEM-EDS)和X射線電子能譜(XPS)研究瞭薄膜的成分和結構.實驗結果錶明薄膜結構是由ZrCN晶粒鑲嵌在無定形碳和碳氮化閤物基體中;膜中的化閤鍵主要以Zr-C, C=C(sp2)和C-C(sp3)形式存在;隨著混閤氣體流量的增加,薄膜的鋯原子分數減小,而N和C的原子分數逐漸增大.
채용자과려음겁진공호법,이C2H2화N2혼합기체위반응기체재단정규상침적납미nc-ZrCN/a-C:H(N)복합막, 용X사선연사(XRD)、소묘전경적능보의(SEM-EDS)화X사선전자능보(XPS)연구료박막적성분화결구.실험결과표명박막결구시유ZrCN정립양감재무정형탄화탄담화합물기체중;막중적화합건주요이Zr-C, C=C(sp2)화C-C(sp3)형식존재;수착혼합기체류량적증가,박막적고원자분수감소,이N화C적원자분수축점증대.
