中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
1期
205-209
,共5页
袁志军%楼祺洪%周军%董景星%魏运荣%王之江
袁誌軍%樓祺洪%週軍%董景星%魏運榮%王之江
원지군%루기홍%주군%동경성%위운영%왕지강
薄膜%多晶硅%激光晶化%倍频Nd∶YAG激光%平顶光束
薄膜%多晶硅%激光晶化%倍頻Nd∶YAG激光%平頂光束
박막%다정규%격광정화%배빈Nd∶YAG격광%평정광속
利用倍频Nd∶YAG激光器使玻璃基底上沉积的非晶硅薄膜成功实现了晶化.YAG激光器的倍频绿光经蝇眼透镜阵列整形后得到一光强均匀分布的平顶光束,并用此光束对非晶硅薄膜进行扫描晶化处理.分别测量了激光晶化前后薄膜的拉曼谱和表面形貌.测量结果表明,非晶硅实现了到多晶硅的相变,且晶化处理后表面起伏度明显增大.根据拉曼谱的数据计算了不同激光能量密度下薄膜的粒度大小和结晶度.结果表明,在一定能量密度(400～850 mJcm2)范围内,结晶膜的晶粒粒度和结晶度随激光能量密度升高而增大.然而能量密度大于1000 mJ/cm2后,检测不到明显的多晶硅特征峰.激光能量密度在850 mJ/cm2左右可得到最佳晶化效果.
利用倍頻Nd∶YAG激光器使玻璃基底上沉積的非晶硅薄膜成功實現瞭晶化.YAG激光器的倍頻綠光經蠅眼透鏡陣列整形後得到一光彊均勻分佈的平頂光束,併用此光束對非晶硅薄膜進行掃描晶化處理.分彆測量瞭激光晶化前後薄膜的拉曼譜和錶麵形貌.測量結果錶明,非晶硅實現瞭到多晶硅的相變,且晶化處理後錶麵起伏度明顯增大.根據拉曼譜的數據計算瞭不同激光能量密度下薄膜的粒度大小和結晶度.結果錶明,在一定能量密度(400～850 mJcm2)範圍內,結晶膜的晶粒粒度和結晶度隨激光能量密度升高而增大.然而能量密度大于1000 mJ/cm2後,檢測不到明顯的多晶硅特徵峰.激光能量密度在850 mJ/cm2左右可得到最佳晶化效果.
이용배빈Nd∶YAG격광기사파리기저상침적적비정규박막성공실현료정화.YAG격광기적배빈록광경승안투경진렬정형후득도일광강균균분포적평정광속,병용차광속대비정규박막진행소묘정화처리.분별측량료격광정화전후박막적랍만보화표면형모.측량결과표명,비정규실현료도다정규적상변,차정화처리후표면기복도명현증대.근거랍만보적수거계산료불동격광능량밀도하박막적립도대소화결정도.결과표명,재일정능량밀도(400～850 mJcm2)범위내,결정막적정립립도화결정도수격광능량밀도승고이증대.연이능량밀도대우1000 mJ/cm2후,검측불도명현적다정규특정봉.격광능량밀도재850 mJ/cm2좌우가득도최가정화효과.
