光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
6期
1265-1271
,共7页
压电陶瓷%迟滞特性%改进的PI迟滞模型%前馈控制%动态定位精度
壓電陶瓷%遲滯特性%改進的PI遲滯模型%前饋控製%動態定位精度
압전도자%지체특성%개진적PI지체모형%전궤공제%동태정위정도
压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度,为了解决这一问题,采用一种改进的PI模型对微动台的迟滞非线性进行了建模.为了提高传统PID算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能,将改进的PI模型与传统PID算法组合构成前馈复合控制算法,并进行了微动台的慢速与快速动态定位实验.结果表明,对同频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差为传统PID算法的40％左右,平均误差为传统算法的20％～30％左右；对多频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差和平均误差为传统PID算法的33％左右.数据表明前馈PID复合算法的动态定位性能明显优于传统PID算法.
壓電陶瓷微動檯的遲滯非線性嚴重影響其動態定位精度,為瞭解決這一問題,採用一種改進的PI模型對微動檯的遲滯非線性進行瞭建模.為瞭提高傳統PID算法對壓電陶瓷微動檯的動態定位性能,將改進的PI模型與傳統PID算法組閤構成前饋複閤控製算法,併進行瞭微動檯的慢速與快速動態定位實驗.結果錶明,對同頻麯線定位時,前饋PID複閤算法的最大誤差為傳統PID算法的40％左右,平均誤差為傳統算法的20％～30％左右；對多頻麯線定位時,前饋PID複閤算法的最大誤差和平均誤差為傳統PID算法的33％左右.數據錶明前饋PID複閤算法的動態定位性能明顯優于傳統PID算法.
압전도자미동태적지체비선성엄중영향기동태정위정도,위료해결저일문제,채용일충개진적PI모형대미동태적지체비선성진행료건모.위료제고전통PID산법대압전도자미동태적동태정위성능,장개진적PI모형여전통PID산법조합구성전궤복합공제산법,병진행료미동태적만속여쾌속동태정위실험.결과표명,대동빈곡선정위시,전궤PID복합산법적최대오차위전통PID산법적40％좌우,평균오차위전통산법적20％～30％좌우；대다빈곡선정위시,전궤PID복합산법적최대오차화평균오차위전통PID산법적33％좌우.수거표명전궤PID복합산법적동태정위성능명현우우전통PID산법.
