材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2003年
5期
731-732
,共2页
彭巨擘%张鹏翔%陈大鹏%张虞澜%朱绍将%王茺
彭巨擘%張鵬翔%陳大鵬%張虞瀾%硃紹將%王茺
팽거벽%장붕상%진대붕%장우란%주소장%왕충
PLD%硅板加热器%衬底%真空度
PLD%硅闆加熱器%襯底%真空度
PLD%규판가열기%츤저%진공도
研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.
研究瞭PLD繫統中用硅闆做襯底加熱器時影響襯底溫度的幾箇因素.通過使用校準瞭的紅外測溫儀做溫度檢測元件,髮現:1.硅闆上各部分的溫度不是均勻分佈的;2.襯底放在硅闆上時,襯底溫度和硅闆溫度有很大的不同;3.在相同的硅闆加熱電流下,硅闆溫度隨硅闆環境的真空度不同而變化.不細緻攷慮上述因素時,脈遲激光沉積(PLD)鍍膜的質量很難保證.
연구료PLD계통중용규판주츤저가열기시영향츤저온도적궤개인소.통과사용교준료적홍외측온의주온도검측원건,발현:1.규판상각부분적온도불시균균분포적;2.츤저방재규판상시,츤저온도화규판온도유흔대적불동;3.재상동적규판가열전류하,규판온도수규판배경적진공도불동이변화.불세치고필상술인소시,맥충격광침적(PLD)도막적질량흔난보증.
