功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
6期
736-738
,共3页
邢玉梅%陶凯%俞跃辉%郑志宏%杨文伟%宋朝瑞%沈达身
邢玉梅%陶凱%俞躍輝%鄭誌宏%楊文偉%宋朝瑞%瀋達身
형옥매%도개%유약휘%정지굉%양문위%송조서%침체신
SOI材料%氧化铪%薄膜
SOI材料%氧化鉿%薄膜
SOI재료%양화협%박막
用电子束蒸发氧化铪靶的方法,在SOI(绝缘体上硅)材料上制备了氧化铪薄膜,随后在氮气中进行快速退火(600℃,300s).借助掠角X射线衍射(GAXRD)、X射线光电子能谱(XPS)、高分辨透射电镜(HRTEM)技术分析了样品的微观结构,研究了样品在退火前后发生的组成及结构变化,结果表明退火后氧化铪薄膜由退火前的非晶态转变为单斜结构的多晶态,薄膜中的O/Hf原子比较退火前更接近化学计量比2.借助扩展电阻探针(SRP)技术考察了退火前后薄膜的电学性能,证明在SOI材料上制备的多晶氧化铪薄膜同样具有较好的电介质绝缘性能.
用電子束蒸髮氧化鉿靶的方法,在SOI(絕緣體上硅)材料上製備瞭氧化鉿薄膜,隨後在氮氣中進行快速退火(600℃,300s).藉助掠角X射線衍射(GAXRD)、X射線光電子能譜(XPS)、高分辨透射電鏡(HRTEM)技術分析瞭樣品的微觀結構,研究瞭樣品在退火前後髮生的組成及結構變化,結果錶明退火後氧化鉿薄膜由退火前的非晶態轉變為單斜結構的多晶態,薄膜中的O/Hf原子比較退火前更接近化學計量比2.藉助擴展電阻探針(SRP)技術攷察瞭退火前後薄膜的電學性能,證明在SOI材料上製備的多晶氧化鉿薄膜同樣具有較好的電介質絕緣性能.
용전자속증발양화협파적방법,재SOI(절연체상규)재료상제비료양화협박막,수후재담기중진행쾌속퇴화(600℃,300s).차조략각X사선연사(GAXRD)、X사선광전자능보(XPS)、고분변투사전경(HRTEM)기술분석료양품적미관결구,연구료양품재퇴화전후발생적조성급결구변화,결과표명퇴화후양화협박막유퇴화전적비정태전변위단사결구적다정태,박막중적O/Hf원자비교퇴화전경접근화학계량비2.차조확전전조탐침(SRP)기술고찰료퇴화전후박막적전학성능,증명재SOI재료상제비적다정양화협박막동양구유교호적전개질절연성능.
