应用声学
應用聲學
응용성학
APPLIED ACOUSTICS
2006年
4期
197-200
,共4页
杨楚威%李俊红%黄歆%汪承灏
楊楚威%李俊紅%黃歆%汪承灝
양초위%리준홍%황흠%왕승호
硅微传声器%圆形振动膜%压电薄膜%ZnO
硅微傳聲器%圓形振動膜%壓電薄膜%ZnO
규미전성기%원형진동막%압전박막%ZnO
本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述.圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%.
本文介紹瞭一種新型圓形振動膜ZnO壓電微傳聲器的製備,併對傳聲器製備的工藝過程進行瞭較為詳細的描述.圓形振動膜的壓電傳聲器與以前方形振動膜結構設計相比,較大幅度提高瞭傳聲器的靈敏度和成品率,靈敏度達到-70dB(相對于1V/Pa),成品率達到80%.
본문개소료일충신형원형진동막ZnO압전미전성기적제비,병대전성기제비적공예과정진행료교위상세적묘술.원형진동막적압전전성기여이전방형진동막결구설계상비,교대폭도제고료전성기적령민도화성품솔,령민도체도-70dB(상대우1V/Pa),성품솔체도80%.
