功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
2期
190-192
,共3页
SiC薄膜%射频磁控溅射%表面形貌%光学特性
SiC薄膜%射頻磁控濺射%錶麵形貌%光學特性
SiC박막%사빈자공천사%표면형모%광학특성
用射频磁控溅射法制备了SiC薄膜,并对其进行了退火处理.用AFM观察了薄膜的表面形貌,测量了薄膜的厚度与透射光谱.用J.C.Manifacier提出并由R.Swanepoel加以修正和完善的包络线法对薄膜透射光谱进行了分析计算,并结合Tuac公式确定了薄膜的光学带隙.结果表明:在不同射频功率下制备的薄膜均有较强的蓝紫光吸收特性,在低功率下可制备出表面平整,吸收系数小,光学带隙大的薄膜;退火处理后薄膜的吸收系数减小,光学带隙增大,晶粒向圆形转化且尺寸变大.
用射頻磁控濺射法製備瞭SiC薄膜,併對其進行瞭退火處理.用AFM觀察瞭薄膜的錶麵形貌,測量瞭薄膜的厚度與透射光譜.用J.C.Manifacier提齣併由R.Swanepoel加以脩正和完善的包絡線法對薄膜透射光譜進行瞭分析計算,併結閤Tuac公式確定瞭薄膜的光學帶隙.結果錶明:在不同射頻功率下製備的薄膜均有較彊的藍紫光吸收特性,在低功率下可製備齣錶麵平整,吸收繫數小,光學帶隙大的薄膜;退火處理後薄膜的吸收繫數減小,光學帶隙增大,晶粒嚮圓形轉化且呎吋變大.
용사빈자공천사법제비료SiC박막,병대기진행료퇴화처리.용AFM관찰료박막적표면형모,측량료박막적후도여투사광보.용J.C.Manifacier제출병유R.Swanepoel가이수정화완선적포락선법대박막투사광보진행료분석계산,병결합Tuac공식학정료박막적광학대극.결과표명:재불동사빈공솔하제비적박막균유교강적람자광흡수특성,재저공솔하가제비출표면평정,흡수계수소,광학대극대적박막;퇴화처리후박막적흡수계수감소,광학대극증대,정립향원형전화차척촌변대.
