功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
210-214
,共5页
关乐%褚金奎%齐东周%王晓东
關樂%褚金奎%齊東週%王曉東
관악%저금규%제동주%왕효동
二阶Krylov子空间%Arnoldi算法%宏模型%微夹钳
二階Krylov子空間%Arnoldi算法%宏模型%微夾鉗
이계Krylov자공간%Arnoldi산법%굉모형%미협겸
利用宏模型对MEMS系统进行系统级仿真是求解MEMS耦合问题的有效方法.对大规模系统方程通过矩阵子空间投影实现自由度缩聚来建立宏模型的方法得到了广泛应用.常用的Krylov子空间法只能对状态空间描述的一阶系统进行降阶处理.本文介绍了二阶Krylov子空间理论,运用Amoldi算法直接对大规模二阶系统进行自由度缩聚来生成宏模型.将此方法与有限元数值分析结合对电热驱动微夹钳进行了宏建模.对电热微夹钳宏模型的仿真结果表明此方法建立的宏模型可以准确反应系统的动态行为,满足精度要求,同时极大地降低了计算复杂度,提高了计算速度.
利用宏模型對MEMS繫統進行繫統級倣真是求解MEMS耦閤問題的有效方法.對大規模繫統方程通過矩陣子空間投影實現自由度縮聚來建立宏模型的方法得到瞭廣汎應用.常用的Krylov子空間法隻能對狀態空間描述的一階繫統進行降階處理.本文介紹瞭二階Krylov子空間理論,運用Amoldi算法直接對大規模二階繫統進行自由度縮聚來生成宏模型.將此方法與有限元數值分析結閤對電熱驅動微夾鉗進行瞭宏建模.對電熱微夾鉗宏模型的倣真結果錶明此方法建立的宏模型可以準確反應繫統的動態行為,滿足精度要求,同時極大地降低瞭計算複雜度,提高瞭計算速度.
이용굉모형대MEMS계통진행계통급방진시구해MEMS우합문제적유효방법.대대규모계통방정통과구진자공간투영실현자유도축취래건립굉모형적방법득도료엄범응용.상용적Krylov자공간법지능대상태공간묘술적일계계통진행강계처리.본문개소료이계Krylov자공간이론,운용Amoldi산법직접대대규모이계계통진행자유도축취래생성굉모형.장차방법여유한원수치분석결합대전열구동미협겸진행료굉건모.대전열미협겸굉모형적방진결과표명차방법건립적굉모형가이준학반응계통적동태행위,만족정도요구,동시겁대지강저료계산복잡도,제고료계산속도.
