真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
2期
164-167
,共4页
陈焘%罗崇泰%王多书%刘宏开
陳燾%囉崇泰%王多書%劉宏開
진도%라숭태%왕다서%류굉개
二氧化%钛离子束轰击%张应力%压应力%薄膜
二氧化%鈦離子束轟擊%張應力%壓應力%薄膜
이양화%태리자속굉격%장응력%압응력%박막
在硅基底上用电子束蒸发方法制备了二氧化钛薄膜.通过XRD、AFM和薄膜应力测试仪研究了离子束轰击对薄膜应力的影响规律.结果表明沉积温度为323K、沉积速率为0.2nm·s-1时,二氧化钛薄膜具有较小的应力值,平均应力为48.2MPa.用能量为113eV的离子束轰击300s时,平均应力由72.9MPa的张应力变为16.7MPa的压应力.二氧化钛薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素.
在硅基底上用電子束蒸髮方法製備瞭二氧化鈦薄膜.通過XRD、AFM和薄膜應力測試儀研究瞭離子束轟擊對薄膜應力的影響規律.結果錶明沉積溫度為323K、沉積速率為0.2nm·s-1時,二氧化鈦薄膜具有較小的應力值,平均應力為48.2MPa.用能量為113eV的離子束轟擊300s時,平均應力由72.9MPa的張應力變為16.7MPa的壓應力.二氧化鈦薄膜的微觀結構變化是影響薄膜應力的主要因素.
재규기저상용전자속증발방법제비료이양화태박막.통과XRD、AFM화박막응력측시의연구료리자속굉격대박막응력적영향규률.결과표명침적온도위323K、침적속솔위0.2nm·s-1시,이양화태박막구유교소적응력치,평균응력위48.2MPa.용능량위113eV적리자속굉격300s시,평균응력유72.9MPa적장응력변위16.7MPa적압응력.이양화태박막적미관결구변화시영향박막응력적주요인소.
