强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2004年
11期
1473-1476
,共4页
王治国%祖小涛%雷雨%莫华强%傅永庆
王治國%祖小濤%雷雨%莫華彊%傅永慶
왕치국%조소도%뇌우%막화강%부영경
TiNi形状记忆合金薄膜%H离子注入%马氏体相变%示差扫描量热仪%X射线衍射
TiNi形狀記憶閤金薄膜%H離子註入%馬氏體相變%示差掃描量熱儀%X射線衍射
TiNi형상기억합금박막%H리자주입%마씨체상변%시차소묘량열의%X사선연사
利用磁控溅射的方法在氧化后的单晶Si基片上制备了TiNi形状记忆合金薄膜,利用示差扫描量热法和原位X射线衍射研究了薄膜的马氏体相变特征.通过60keV质子注入(辐照)薄膜样品研究了H+离子对合金薄膜马氏体相变特征的影响,结果表明氢离子注入后引起了马氏体相变开始Ms和结束点Mf以及逆马氏体相变开始As和结束温度Ar的下降,而对R相变开始R,和结束温度Rr影响不大.掠入射X射线衍射表明H+离子注入后有氢化物形成.H+离子注入形成的氢化物是引起相变点的变化的主要因素.
利用磁控濺射的方法在氧化後的單晶Si基片上製備瞭TiNi形狀記憶閤金薄膜,利用示差掃描量熱法和原位X射線衍射研究瞭薄膜的馬氏體相變特徵.通過60keV質子註入(輻照)薄膜樣品研究瞭H+離子對閤金薄膜馬氏體相變特徵的影響,結果錶明氫離子註入後引起瞭馬氏體相變開始Ms和結束點Mf以及逆馬氏體相變開始As和結束溫度Ar的下降,而對R相變開始R,和結束溫度Rr影響不大.掠入射X射線衍射錶明H+離子註入後有氫化物形成.H+離子註入形成的氫化物是引起相變點的變化的主要因素.
이용자공천사적방법재양화후적단정Si기편상제비료TiNi형상기억합금박막,이용시차소묘량열법화원위X사선연사연구료박막적마씨체상변특정.통과60keV질자주입(복조)박막양품연구료H+리자대합금박막마씨체상변특정적영향,결과표명경리자주입후인기료마씨체상변개시Ms화결속점Mf이급역마씨체상변개시As화결속온도Ar적하강,이대R상변개시R,화결속온도Rr영향불대.략입사X사선연사표명H+리자주입후유경화물형성.H+리자주입형성적경화물시인기상변점적변화적주요인소.
