仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2005年
7期
746-750
,共5页
波长移相干涉%加权多步波长移相算法%轮廓测量%厚度变化测量
波長移相榦涉%加權多步波長移相算法%輪廓測量%厚度變化測量
파장이상간섭%가권다보파장이상산법%륜곽측량%후도변화측량
波长移相干涉技术通过改变光源的波长实现移相,可以克服硬件移相引入的误差,同时原理上可以实现多组干涉信号的分离.主要应用于大尺寸干涉仪及需要分离多表面干涉信号的系统中.加权多步波长移相算法是其主要的算法,中心思想是通过时域加入合适的窗函数,抑制寄生信号,提出包含轮廓或厚度信息的有用信号.文中介绍其设计思想,进行算法设计,并对一光学件进行了测试和比对.
波長移相榦涉技術通過改變光源的波長實現移相,可以剋服硬件移相引入的誤差,同時原理上可以實現多組榦涉信號的分離.主要應用于大呎吋榦涉儀及需要分離多錶麵榦涉信號的繫統中.加權多步波長移相算法是其主要的算法,中心思想是通過時域加入閤適的窗函數,抑製寄生信號,提齣包含輪廓或厚度信息的有用信號.文中介紹其設計思想,進行算法設計,併對一光學件進行瞭測試和比對.
파장이상간섭기술통과개변광원적파장실현이상,가이극복경건이상인입적오차,동시원리상가이실현다조간섭신호적분리.주요응용우대척촌간섭의급수요분리다표면간섭신호적계통중.가권다보파장이상산법시기주요적산법,중심사상시통과시역가입합괄적창함수,억제기생신호,제출포함륜곽혹후도신식적유용신호.문중개소기설계사상,진행산법설계,병대일광학건진행료측시화비대.
