西安电子科技大学学报（自然科学版）
西安電子科技大學學報（自然科學版）
서안전자과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2006年
3期
433-437
,共5页
王俊平%郝跃%张卓奎%任春丽%李康%方建平
王俊平%郝躍%張卓奎%任春麗%李康%方建平
왕준평%학약%장탁규%임춘려%리강%방건평
真实缺陷%椭圆缺陷模型%关键面积%成品率模型
真實缺陷%橢圓缺陷模型%關鍵麵積%成品率模型
진실결함%타원결함모형%관건면적%성품솔모형
现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而70%的实际缺陷轮廓接近于椭圆.提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比更具有一般性,而圆模型轮廓的成品率模型仅为新模型的特例.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失,表明新模型在成品率估计方面更加精确.
現有成品率及關鍵麵積估計模型中,假定缺陷輪廓為圓,而70%的實際缺陷輪廓接近于橢圓.提齣瞭橢圓缺陷輪廓的成品率模型,該模型與圓模型相比更具有一般性,而圓模型輪廓的成品率模型僅為新模型的特例.比較瞭新模型與真實缺陷及其圓模型引起的成品率損失,錶明新模型在成品率估計方麵更加精確.
현유성품솔급관건면적고계모형중,가정결함륜곽위원,이70%적실제결함륜곽접근우타원.제출료타원결함륜곽적성품솔모형,해모형여원모형상비경구유일반성,이원모형륜곽적성품솔모형부위신모형적특례.비교료신모형여진실결함급기원모형인기적성품솔손실,표명신모형재성품솔고계방면경가정학.
