传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2197-2199
,共3页
孙剑%赵玉龙%苑国英%蒋庄德%徐敬波
孫劍%趙玉龍%苑國英%蔣莊德%徐敬波
손검%조옥룡%원국영%장장덕%서경파
加速度传感器%压阻效应%SOI%MEMS
加速度傳感器%壓阻效應%SOI%MEMS
가속도전감기%압조효응%SOI%MEMS
介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化,确定加速度传感器的结构尺寸,并详细论述了三轴加速度传感器的制备工艺步骤和测试结果.
介紹瞭一種基于SOI的硅壓阻式三軸加速度傳感器的設計和製備.該三軸加速度傳感器採用四箇相互垂直的懸臂樑支撐中間質量塊的結構.加速度傳感器通過利用閤理佈置的壓敏電阻構成的惠斯通電橋測量三箇方嚮的加速度.對加速度傳感器結構進行瞭理論分析和有限元倣真優化,確定加速度傳感器的結構呎吋,併詳細論述瞭三軸加速度傳感器的製備工藝步驟和測試結果.
개소료일충기우SOI적규압조식삼축가속도전감기적설계화제비.해삼축가속도전감기채용사개상호수직적현비량지탱중간질량괴적결구.가속도전감기통과이용합리포치적압민전조구성적혜사통전교측량삼개방향적가속도.대가속도전감기결구진행료이론분석화유한원방진우화,학정가속도전감기적결구척촌,병상세논술료삼축가속도전감기적제비공예보취화측시결과.
