电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2006年
6期
494-497
,共4页
光纤探针%热拉伸%化学腐蚀%原子力显微镜%光子扫描隧道显微镜
光纖探針%熱拉伸%化學腐蝕%原子力顯微鏡%光子掃描隧道顯微鏡
광섬탐침%열랍신%화학부식%원자력현미경%광자소묘수도현미경
探针是所有扫描探针显微镜的关键部件.本文提出了一种采用普通单模光纤制作在原子力和光子扫描隧道组合显微镜(AF/PSTM)上使用的弯曲光纤探针的方法.通过合理的选择实验参数,经过热拉伸与化学腐蚀两个过程,得到弯曲部分的角度为110°～120°、锥角约60°～80°的弯曲光纤探针.经扫描电镜观察,光纤探针的尖端直径小于100 nm.此种方法加工光纤探针的成品率约70%左右.
探針是所有掃描探針顯微鏡的關鍵部件.本文提齣瞭一種採用普通單模光纖製作在原子力和光子掃描隧道組閤顯微鏡(AF/PSTM)上使用的彎麯光纖探針的方法.通過閤理的選擇實驗參數,經過熱拉伸與化學腐蝕兩箇過程,得到彎麯部分的角度為110°～120°、錐角約60°～80°的彎麯光纖探針.經掃描電鏡觀察,光纖探針的尖耑直徑小于100 nm.此種方法加工光纖探針的成品率約70%左右.
탐침시소유소묘탐침현미경적관건부건.본문제출료일충채용보통단모광섬제작재원자력화광자소묘수도조합현미경(AF/PSTM)상사용적만곡광섬탐침적방법.통과합리적선택실험삼수,경과열랍신여화학부식량개과정,득도만곡부분적각도위110°～120°、추각약60°～80°적만곡광섬탐침.경소묘전경관찰,광섬탐침적첨단직경소우100 nm.차충방법가공광섬탐침적성품솔약70%좌우.
