CAJ | 학술논문

利用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上生长出Mn含量约为3%的(Ga,Mn)稀磁半导体薄膜.利用反射高能衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)表征(Ga,Mn)N薄膜的表面形貌和结构特征.(Ga,Mn)N薄膜具有良好的(0002)择优取向和纤锌矿结构,表面形貌是由许多亚微米量级的晶粒按一致的取向规则堆砌而成.光致发光(PL)测量发现3.27eV附近出现施主-受主对(DAP)发光峰.超导量子干涉仪(SQUID)测量表明薄膜在室温下具有铁磁性,没有发现超顺磁性和自旋玻璃态,居里温度可达400K.
이용전자회선공진-등리자체증강금속유궤물화학기상침적(ECR-PEMOCVD)기술,재람보석(α-Al2O3)츤저상생장출Mn함량약위3%적(Ga,Mn)희자반도체박막.이용반사고능연사(RHEED)、원자력현미경(AFM)화X사선연사(XRD)표정(Ga,Mn)N박막적표면형모화결구특정.(Ga,Mn)N박막구유량호적(0002)택우취향화섬자광결구,표면형모시유허다아미미량급적정립안일치적취향규칙퇴체이성.광치발광(PL)측량발현3.27eV부근출현시주-수주대(DAP)발광봉.초도양자간섭의(SQUID)측량표명박막재실온하구유철자성,몰유발현초순자성화자선파리태,거리온도가체400K.