离子束溅射沉积Fe/Si多层膜法合成β-FeSi2薄膜的研究
리자속천사침적Fe/Si다층막법합성β-FeSi2박막적연구
Research on β-FeSi2 thin films from Fe/Si multilayers deposited by ion beam sputtering
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2010年 5期 886-888,891 ,共4页

    张娟%沈鸿烈%鲁林峰%唐正霞%江丰%李斌斌%刘恋慈%沈洲

    장연%침홍렬%로림봉%당정하%강봉%리빈빈%류련자%침주

    β-FeSi2%离子束溅射沉积%Fe/Si多层膜%石英衬底 β-FeSi2%離子束濺射沉積%Fe/Si多層膜%石英襯底
    β-FeSi2%리자속천사침적%Fe/Si다층막%석영츤저
    采用离子束溅射沉积Fe/Si多层膜的方法在石英衬底上制备了β-FeSi2薄膜,研究了不同厚度比的Fe/Si多层膜对β-FeSi2薄膜的结构性能、形貌及光学性能的影响.结果表明,厚度比为Fe(2nm)/Si(7.4nm)的多层膜在退火后完全生成了β-FeSi2相,表面致密均匀,其光学带隙为0.84eV,能量为1.0eV光子的吸收系数＞105cm-1.
    채용리자속천사침적Fe/Si다층막적방법재석영츤저상제비료β-FeSi2박막,연구료불동후도비적Fe/Si다층막대β-FeSi2박막적결구성능、형모급광학성능적영향.결과표명,후도비위Fe(2nm)/Si(7.4nm)적다층막재퇴화후완전생성료β-FeSi2상,표면치밀균균,기광학대극위0.84eV,능량위1.0eV광자적흡수계수＞105cm-1.
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