计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2011年
2期
60-62
,共3页
杨帆%郑家贵%冯良桓%王文武
楊帆%鄭傢貴%馮良桓%王文武
양범%정가귀%풍량환%왕문무
CdTe太阳电池%干法腐蚀%背接触
CdTe太暘電池%榦法腐蝕%揹接觸
CdTe태양전지%간법부식%배접촉
我们采用等离子束轰击的方法,研究了干法腐蚀对多晶CdTe薄膜结构和性能的变化,以及对CdTe太阳电池性能的影响.发现与湿法腐蚀方法相比,等离子束溅射轰击不仅可以彻底清除表面的氧化层,而且可以同时改善表面的微粗糙度,增强薄膜的附着力.通过对不同腐蚀方法所制成的CdTe电池器件的性能测试,得出了电池性能较好的干法腐蚀工艺条件.
我們採用等離子束轟擊的方法,研究瞭榦法腐蝕對多晶CdTe薄膜結構和性能的變化,以及對CdTe太暘電池性能的影響.髮現與濕法腐蝕方法相比,等離子束濺射轟擊不僅可以徹底清除錶麵的氧化層,而且可以同時改善錶麵的微粗糙度,增彊薄膜的附著力.通過對不同腐蝕方法所製成的CdTe電池器件的性能測試,得齣瞭電池性能較好的榦法腐蝕工藝條件.
아문채용등리자속굉격적방법,연구료간법부식대다정CdTe박막결구화성능적변화,이급대CdTe태양전지성능적영향.발현여습법부식방법상비,등리자속천사굉격불부가이철저청제표면적양화층,이차가이동시개선표면적미조조도,증강박막적부착력.통과대불동부식방법소제성적CdTe전지기건적성능측시,득출료전지성능교호적간법부식공예조건.
