强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
3期
675-680
,共6页
氟化物薄膜%193 nm增透膜%预镀层%基底%剩余反射率
氟化物薄膜%193 nm增透膜%預鍍層%基底%剩餘反射率
불화물박막%193 nm증투막%예도층%기저%잉여반사솔
为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物增透膜,研究了基底和不同氟化物材料组合对氟化物增透膜的影响.在熔石英基底上,将挡板法和预镀层技术相结合,采用热舟蒸发方式制备了不同氟化物材料组合增透膜,对增透膜的剩余反射率和光学损耗等光学特性,以及表面粗糙度和应力等特性进行了测量和比较.在分析比较和优化的基础上,设计制备的3层1/4波长规整膜系AlF3/LaF3增透膜在193 nm的剩余反射率低于0.14%,单面镀膜增透膜的透射率为93.85%,增透膜表面均方根粗糙度为0.979 nm,总的损耗约为6%.要得到高性能的193 nm增透膜,应选用超级抛光基底.
為瞭研製低損耗、高性能的193 nm氟化物增透膜,研究瞭基底和不同氟化物材料組閤對氟化物增透膜的影響.在鎔石英基底上,將擋闆法和預鍍層技術相結閤,採用熱舟蒸髮方式製備瞭不同氟化物材料組閤增透膜,對增透膜的剩餘反射率和光學損耗等光學特性,以及錶麵粗糙度和應力等特性進行瞭測量和比較.在分析比較和優化的基礎上,設計製備的3層1/4波長規整膜繫AlF3/LaF3增透膜在193 nm的剩餘反射率低于0.14%,單麵鍍膜增透膜的透射率為93.85%,增透膜錶麵均方根粗糙度為0.979 nm,總的損耗約為6%.要得到高性能的193 nm增透膜,應選用超級拋光基底.
위료연제저손모、고성능적193 nm불화물증투막,연구료기저화불동불화물재료조합대불화물증투막적영향.재용석영기저상,장당판법화예도층기술상결합,채용열주증발방식제비료불동불화물재료조합증투막,대증투막적잉여반사솔화광학손모등광학특성,이급표면조조도화응력등특성진행료측량화비교.재분석비교화우화적기출상,설계제비적3층1/4파장규정막계AlF3/LaF3증투막재193 nm적잉여반사솔저우0.14%,단면도막증투막적투사솔위93.85%,증투막표면균방근조조도위0.979 nm,총적손모약위6%.요득도고성능적193 nm증투막,응선용초급포광기저.
