科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2011年
12期
2636-2639
,共4页
朱宏喜%顾超%任凤章%田保红
硃宏喜%顧超%任鳳章%田保紅
주굉희%고초%임봉장%전보홍
金刚石薄膜%织构%电子背散射衍射%取向选择生长
金剛石薄膜%織構%電子揹散射衍射%取嚮選擇生長
금강석박막%직구%전자배산사연사%취향선택생장
采用X射线衍射技术、扫描电镜和电子背散射衍射(EBSD)技术研究了CVD金刚石薄膜的织构,表面组织形貌和徼区取向分布.从取向选择生长的角度研究了薄膜织构形成的过程.研究表明,强烈的取向选择生长能够形成强织构,不同的生长速率参数α会导致不同的织构,同时形成不同的表面组织形貌.
採用X射線衍射技術、掃描電鏡和電子揹散射衍射(EBSD)技術研究瞭CVD金剛石薄膜的織構,錶麵組織形貌和徼區取嚮分佈.從取嚮選擇生長的角度研究瞭薄膜織構形成的過程.研究錶明,彊烈的取嚮選擇生長能夠形成彊織構,不同的生長速率參數α會導緻不同的織構,同時形成不同的錶麵組織形貌.
채용X사선연사기술、소묘전경화전자배산사연사(EBSD)기술연구료CVD금강석박막적직구,표면조직형모화요구취향분포.종취향선택생장적각도연구료박막직구형성적과정.연구표명,강렬적취향선택생장능구형성강직구,불동적생장속솔삼수α회도치불동적직구,동시형성불동적표면조직형모.
