光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2004年
2期
203-207
,共5页
集成光学%绝缘层上的硅波导器件%偏振效应%过渡损耗
集成光學%絕緣層上的硅波導器件%偏振效應%過渡損耗
집성광학%절연층상적규파도기건%편진효응%과도손모
在绝缘层上的硅材料上制作了四种具有不同输入输出结构的星形耦合器并进行了测试,对脊形波导与平板波导相互过渡时过渡区的损耗问题进行了研究和讨论,计算得到在所使用的材料参量下利用锥形结构可以得到1 dB左右的最小损耗,这一损耗是由于脊型波导与平板波导间的模式失配造成的.以文献中的实验数据为出发点,分析了脊形波导的偏振问题,并通过对脊型波导器件层厚度、脊高、脊宽进行优化设计,得到了不同偏振模式的有效折射率差仅为10-5量级的单模脊型波导结构,这样的偏振效应在器件设计中可以忽略.
在絕緣層上的硅材料上製作瞭四種具有不同輸入輸齣結構的星形耦閤器併進行瞭測試,對脊形波導與平闆波導相互過渡時過渡區的損耗問題進行瞭研究和討論,計算得到在所使用的材料參量下利用錐形結構可以得到1 dB左右的最小損耗,這一損耗是由于脊型波導與平闆波導間的模式失配造成的.以文獻中的實驗數據為齣髮點,分析瞭脊形波導的偏振問題,併通過對脊型波導器件層厚度、脊高、脊寬進行優化設計,得到瞭不同偏振模式的有效摺射率差僅為10-5量級的單模脊型波導結構,這樣的偏振效應在器件設計中可以忽略.
재절연층상적규재료상제작료사충구유불동수입수출결구적성형우합기병진행료측시,대척형파도여평판파도상호과도시과도구적손모문제진행료연구화토론,계산득도재소사용적재료삼량하이용추형결구가이득도1 dB좌우적최소손모,저일손모시유우척형파도여평판파도간적모식실배조성적.이문헌중적실험수거위출발점,분석료척형파도적편진문제,병통과대척형파도기건층후도、척고、척관진행우화설계,득도료불동편진모식적유효절사솔차부위10-5량급적단모척형파도결구,저양적편진효응재기건설계중가이홀략.
