钛工业进展
鈦工業進展
태공업진전
TAI GONGYE JINZHAN
2006年
2期
25-28
,共4页
秦聪祥%曾鹏%胡社军%汝强
秦聰祥%曾鵬%鬍社軍%汝彊
진총상%증붕%호사군%여강
离子束辅助沉积%TiAlSiN%电弧离子镀
離子束輔助沉積%TiAlSiN%電弧離子鍍
리자속보조침적%TiAlSiN%전호리자도
分别利用真空电弧沉积技术与等离子体辅助真空电弧沉积技术在不锈钢片、高速钢片和单晶硅片上沉积TiAlSiN多元薄膜,通过X射线衍射和扫描电镜对采用两种方法制备的薄膜物相及表面形貌进行了分析比较,测定了高速钢片上薄膜的显微硬度,进行了耐磨性实验.结果表明,采用离子束辅助沉积制备的薄膜,有(200)面的择优取向,薄膜的表面形貌得到改善,硬度和耐磨性提高.
分彆利用真空電弧沉積技術與等離子體輔助真空電弧沉積技術在不鏽鋼片、高速鋼片和單晶硅片上沉積TiAlSiN多元薄膜,通過X射線衍射和掃描電鏡對採用兩種方法製備的薄膜物相及錶麵形貌進行瞭分析比較,測定瞭高速鋼片上薄膜的顯微硬度,進行瞭耐磨性實驗.結果錶明,採用離子束輔助沉積製備的薄膜,有(200)麵的擇優取嚮,薄膜的錶麵形貌得到改善,硬度和耐磨性提高.
분별이용진공전호침적기술여등리자체보조진공전호침적기술재불수강편、고속강편화단정규편상침적TiAlSiN다원박막,통과X사선연사화소묘전경대채용량충방법제비적박막물상급표면형모진행료분석비교,측정료고속강편상박막적현미경도,진행료내마성실험.결과표명,채용리자속보조침적제비적박막,유(200)면적택우취향,박막적표면형모득도개선,경도화내마성제고.
