电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2006年
12期
57-60
,共4页
底面对准%图像处理%边缘检测
底麵對準%圖像處理%邊緣檢測
저면대준%도상처리%변연검측
讨论了双面对准光刻机的底部对准原理,并着重介绍了图像处理在高精度光刻机中的应用.通过对采集到的标记图形进行图像分割和边缘定位,使标记的边缘精确定位在亚像素级.从实验的结果来看,这种方法能够对对准标记达到很好的边缘定位,提高了对准精度.
討論瞭雙麵對準光刻機的底部對準原理,併著重介紹瞭圖像處理在高精度光刻機中的應用.通過對採集到的標記圖形進行圖像分割和邊緣定位,使標記的邊緣精確定位在亞像素級.從實驗的結果來看,這種方法能夠對對準標記達到很好的邊緣定位,提高瞭對準精度.
토론료쌍면대준광각궤적저부대준원리,병착중개소료도상처리재고정도광각궤중적응용.통과대채집도적표기도형진행도상분할화변연정위,사표기적변연정학정위재아상소급.종실험적결과래간,저충방법능구대대준표기체도흔호적변연정위,제고료대준정도.
