人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
6期
1274-1278
,共5页
杨贵源%周雄图%马学鸣%石旺舟
楊貴源%週雄圖%馬學鳴%石旺舟
양귀원%주웅도%마학명%석왕주
Al掺杂ZnO薄膜%透明导电薄膜%脉冲激光沉积%荧光特性
Al摻雜ZnO薄膜%透明導電薄膜%脈遲激光沉積%熒光特性
Al참잡ZnO박막%투명도전박막%맥충격광침적%형광특성
采用脉冲激光沉积技术(PLD),室温下在柔性衬底PET上制备了高度c轴择优取向的Al掺杂ZnO薄膜.XRD分析表明,不同Al掺杂浓度的样品均呈现单一的ZnO相.荧光光谱和透射光谱分析显示,低温低氧压下制备的Al掺杂ZnO薄膜在紫光区域有很强的荧光发射,在可见光区域具有较高的透射率;并且可以通过Al掺杂浓度调节薄膜紫色发光强度和薄膜带隙.薄膜的电阻率随着Al掺杂浓度的增加先降低后增加,在掺杂浓度为3%原子分数时达到最小值.
採用脈遲激光沉積技術(PLD),室溫下在柔性襯底PET上製備瞭高度c軸擇優取嚮的Al摻雜ZnO薄膜.XRD分析錶明,不同Al摻雜濃度的樣品均呈現單一的ZnO相.熒光光譜和透射光譜分析顯示,低溫低氧壓下製備的Al摻雜ZnO薄膜在紫光區域有很彊的熒光髮射,在可見光區域具有較高的透射率;併且可以通過Al摻雜濃度調節薄膜紫色髮光彊度和薄膜帶隙.薄膜的電阻率隨著Al摻雜濃度的增加先降低後增加,在摻雜濃度為3%原子分數時達到最小值.
채용맥충격광침적기술(PLD),실온하재유성츤저PET상제비료고도c축택우취향적Al참잡ZnO박막.XRD분석표명,불동Al참잡농도적양품균정현단일적ZnO상.형광광보화투사광보분석현시,저온저양압하제비적Al참잡ZnO박막재자광구역유흔강적형광발사,재가견광구역구유교고적투사솔;병차가이통과Al참잡농도조절박막자색발광강도화박막대극.박막적전조솔수착Al참잡농도적증가선강저후증가,재참잡농도위3%원자분수시체도최소치.
