半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2010年
11期
1130-1133
,共4页
王美兰%李天明%郑宏宇%赵祖军%高岭
王美蘭%李天明%鄭宏宇%趙祖軍%高嶺
왕미란%리천명%정굉우%조조군%고령
低温共烧陶瓷%带通滤波器%仿真%测试%关键工艺
低溫共燒陶瓷%帶通濾波器%倣真%測試%關鍵工藝
저온공소도자%대통려파기%방진%측시%관건공예
低温共烧陶瓷(LTCC)技术具有内埋置无源元件、集成度高、可靠性好以及优良的高频特性等特点,成为无线通讯系统中更具影响力与竞争力的技术之一.在了解现有工艺平台的基础上,利用集总参数元件进行带通滤波器的设计,使用高频电磁场仿真软件Ansoft HFSS建立滤波器的物理模型并对其进行仿真,经LTCC工艺线加工出中心频率为1500 MHz、带宽为800 MHz的LC带通滤波器.成品经矢量网络分析仪Agilent E8358A测试,测试结果与仿真曲线吻合较好,都符合设计值的要求.最后对影响滤波器性能的一些关键工艺进行了分析,达到了将LTCC 滤波器设计与工艺实现相结合的目的.
低溫共燒陶瓷(LTCC)技術具有內埋置無源元件、集成度高、可靠性好以及優良的高頻特性等特點,成為無線通訊繫統中更具影響力與競爭力的技術之一.在瞭解現有工藝平檯的基礎上,利用集總參數元件進行帶通濾波器的設計,使用高頻電磁場倣真軟件Ansoft HFSS建立濾波器的物理模型併對其進行倣真,經LTCC工藝線加工齣中心頻率為1500 MHz、帶寬為800 MHz的LC帶通濾波器.成品經矢量網絡分析儀Agilent E8358A測試,測試結果與倣真麯線吻閤較好,都符閤設計值的要求.最後對影響濾波器性能的一些關鍵工藝進行瞭分析,達到瞭將LTCC 濾波器設計與工藝實現相結閤的目的.
저온공소도자(LTCC)기술구유내매치무원원건、집성도고、가고성호이급우량적고빈특성등특점,성위무선통신계통중경구영향력여경쟁력적기술지일.재료해현유공예평태적기출상,이용집총삼수원건진행대통려파기적설계,사용고빈전자장방진연건Ansoft HFSS건립려파기적물리모형병대기진행방진,경LTCC공예선가공출중심빈솔위1500 MHz、대관위800 MHz적LC대통려파기.성품경시량망락분석의Agilent E8358A측시,측시결과여방진곡선문합교호,도부합설계치적요구.최후대영향려파기성능적일사관건공예진행료분석,체도료장LTCC 려파기설계여공예실현상결합적목적.
