传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
4期
22-24
,共3页
钱群%张丛春%杨春生%丁桂甫
錢群%張叢春%楊春生%丁桂甫
전군%장총춘%양춘생%정계보
太阳能电池%GIGS%溅射%电阻率
太暘能電池%GIGS%濺射%電阻率
태양능전지%GIGS%천사%전조솔
研究了减小CIGS太阳能电池中Mo,CIGS,n-ZnO三层薄膜电阻率的溅射工艺方法,以达到减小电池串联电阻的目的.改变工艺参数制备不同样品并对其进行测试分析,得到了溅射气压、村底温度、退火工艺对电阻率和薄膜微观形貌的影响.证明了采用双层溅射法制备的Mo、低气压、衬底加热、溅射后退火得到的CIGS以及3～5 Pa下制备的n-ZnO都有较好的薄膜质量和较低的电阻率.
研究瞭減小CIGS太暘能電池中Mo,CIGS,n-ZnO三層薄膜電阻率的濺射工藝方法,以達到減小電池串聯電阻的目的.改變工藝參數製備不同樣品併對其進行測試分析,得到瞭濺射氣壓、村底溫度、退火工藝對電阻率和薄膜微觀形貌的影響.證明瞭採用雙層濺射法製備的Mo、低氣壓、襯底加熱、濺射後退火得到的CIGS以及3～5 Pa下製備的n-ZnO都有較好的薄膜質量和較低的電阻率.
연구료감소CIGS태양능전지중Mo,CIGS,n-ZnO삼층박막전조솔적천사공예방법,이체도감소전지천련전조적목적.개변공예삼수제비불동양품병대기진행측시분석,득도료천사기압、촌저온도、퇴화공예대전조솔화박막미관형모적영향.증명료채용쌍층천사법제비적Mo、저기압、츤저가열、천사후퇴화득도적CIGS이급3～5 Pa하제비적n-ZnO도유교호적박막질량화교저적전조솔.
