CAJ | 학술논문

在MEMS矢量水听器现有结构的基础上,设计出一种新型弹簧减震结构，期望利用该结构提高水听器抗噪能力。根据Ansys有限元仿真，确定出该弹簧的几何尺寸、劲度系数(k≈5 N/m)及弹簧的所在位置——弹簧设置为内外圈相互垂直的两对。仿真结果表明，该减震结构抑制流噪声能力可提高3倍以上，同时几乎不影响水听器的接收灵敏度。该芯片级弹簧减震结构具有一次集成、一致性好、易于组阵、工程应用方便等特点。
재MEMS시량수은기현유결구적기출상,설계출일충신형탄황감진결구，기망이용해결구제고수은기항조능력。근거Ansys유한원방진，학정출해탄황적궤하척촌、경도계수(k≈5 N/m)급탄황적소재위치——탄황설치위내외권상호수직적량대。방진결과표명，해감진결구억제류조성능력가제고3배이상，동시궤호불영향수은기적접수령민도。해심편급탄황감진결구구유일차집성、일치성호、역우조진、공정응용방편등특점。