真空
真空
진공
VACUUM
2011年
6期
29-31
,共3页
山秀文%雷青松%薛俊明%杨瑞霞%安会静%李广
山秀文%雷青鬆%薛俊明%楊瑞霞%安會靜%李廣
산수문%뢰청송%설준명%양서하%안회정%리엄
非晶硅薄膜%折射率%吸收系数%光学带隙%暗电导率
非晶硅薄膜%摺射率%吸收繫數%光學帶隙%暗電導率
비정규박막%절사솔%흡수계수%광학대극%암전도솔
采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术,在Coming Eg 2000玻璃上制备非晶硅薄膜,研究了射频功率对薄膜光电性能的影响.结果表明:通过调节功率可获得具有高折射率,高吸收系数,低暗电导率的非晶硅薄膜.
採用等離子體輔助化學氣相沉積(PECVD)技術,在Coming Eg 2000玻璃上製備非晶硅薄膜,研究瞭射頻功率對薄膜光電性能的影響.結果錶明:通過調節功率可穫得具有高摺射率,高吸收繫數,低暗電導率的非晶硅薄膜.
채용등리자체보조화학기상침적(PECVD)기술,재Coming Eg 2000파리상제비비정규박막,연구료사빈공솔대박막광전성능적영향.결과표명:통과조절공솔가획득구유고절사솔,고흡수계수,저암전도솔적비정규박막.
