传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2005年
2期
325-328
,共4页
余华梁%黄世震%林伟%陈伟
餘華樑%黃世震%林偉%陳偉
여화량%황세진%림위%진위
气相反应法%纳米WO3%气敏性质%NO2
氣相反應法%納米WO3%氣敏性質%NO2
기상반응법%납미WO3%기민성질%NO2
材料的制备是研制半导体气敏传感器的关键环节.用气相反应法,以纯钨丝为原料,制备了WO3粉末,又以此WO3粉末为基材,制作了NO2气敏传感元件.在性能测试中发现,该元件对低浓度(10-10)NO2灵敏,灵敏度可达10倍左右,而且响应迅速,响应时间为1.5 s.文中从材料的微观结构入手,对材料的敏感机理作了分析.
材料的製備是研製半導體氣敏傳感器的關鍵環節.用氣相反應法,以純鎢絲為原料,製備瞭WO3粉末,又以此WO3粉末為基材,製作瞭NO2氣敏傳感元件.在性能測試中髮現,該元件對低濃度(10-10)NO2靈敏,靈敏度可達10倍左右,而且響應迅速,響應時間為1.5 s.文中從材料的微觀結構入手,對材料的敏感機理作瞭分析.
재료적제비시연제반도체기민전감기적관건배절.용기상반응법,이순오사위원료,제비료WO3분말,우이차WO3분말위기재,제작료NO2기민전감원건.재성능측시중발현,해원건대저농도(10-10)NO2령민,령민도가체10배좌우,이차향응신속,향응시간위1.5 s.문중종재료적미관결구입수,대재료적민감궤리작료분석.
