稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
11期
1713-1716
,共4页
CoPt薄膜%厚度%Ag底层%结构%磁性能
CoPt薄膜%厚度%Ag底層%結構%磁性能
CoPt박막%후도%Ag저층%결구%자성능
用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜及不同Ag底层厚度的CoPt/Ag薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响,膜厚较薄时(δ≤15 nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性;Ag底层可以诱导Ll0-CoPt相的形成并使c轴垂直择优取向,且Ag底层越厚其诱导效应越强.
用磁控濺射法在玻璃基片上製備瞭具有等原子比組成的不同厚度的CoPt薄膜及不同Ag底層厚度的CoPt/Ag薄膜.真空退火後的結果錶明,膜厚對CoPt薄膜的微觀結構和磁性能有著重要的影響,膜厚較薄時(δ≤15 nm)有利于易磁化軸(c軸)垂直于膜麵取嚮,從而具有高的垂直磁各嚮異性;Ag底層可以誘導Ll0-CoPt相的形成併使c軸垂直擇優取嚮,且Ag底層越厚其誘導效應越彊.
용자공천사법재파리기편상제비료구유등원자비조성적불동후도적CoPt박막급불동Ag저층후도적CoPt/Ag박막.진공퇴화후적결과표명,막후대CoPt박막적미관결구화자성능유착중요적영향,막후교박시(δ≤15 nm)유리우역자화축(c축)수직우막면취향,종이구유고적수직자각향이성;Ag저층가이유도Ll0-CoPt상적형성병사c축수직택우취향,차Ag저층월후기유도효응월강.
