中国科学G辑
中國科學G輯
중국과학G집
SCIENCE IN CHINA(SERIES G)
2007年
4期
458-463
,共6页
郭艳峰%陈雷明%郭熹%李培刚%雷鸣%唐为华
郭豔峰%陳雷明%郭熹%李培剛%雷鳴%唐為華
곽염봉%진뢰명%곽희%리배강%뢰명%당위화
脉冲电子束沉积%Nd1.85Ce0.15CuO4薄膜%超导电性
脈遲電子束沉積%Nd1.85Ce0.15CuO4薄膜%超導電性
맥충전자속침적%Nd1.85Ce0.15CuO4박막%초도전성
采用脉冲电子束沉积技术, 在SrTiO3衬底上成功制备了高质量的Nd1.85- Ce0.15CuO4(NCCO)薄膜.通过改变薄膜的沉积温度、厚度、退火条件以及沉积频率, 获得了具有不同生长条件的NCCO薄膜样品.对样品R-T曲线进行分析, 得到了上述因素对薄膜超导电性的影响规律, 并进一步说明了这些因素对薄膜的超导电性造成影响的原因.通过与脉冲激光沉积技术类比, 定量分析了沉积过程中靶与基片距离同沉积气压之间的关系.
採用脈遲電子束沉積技術, 在SrTiO3襯底上成功製備瞭高質量的Nd1.85- Ce0.15CuO4(NCCO)薄膜.通過改變薄膜的沉積溫度、厚度、退火條件以及沉積頻率, 穫得瞭具有不同生長條件的NCCO薄膜樣品.對樣品R-T麯線進行分析, 得到瞭上述因素對薄膜超導電性的影響規律, 併進一步說明瞭這些因素對薄膜的超導電性造成影響的原因.通過與脈遲激光沉積技術類比, 定量分析瞭沉積過程中靶與基片距離同沉積氣壓之間的關繫.
채용맥충전자속침적기술, 재SrTiO3츤저상성공제비료고질량적Nd1.85- Ce0.15CuO4(NCCO)박막.통과개변박막적침적온도、후도、퇴화조건이급침적빈솔, 획득료구유불동생장조건적NCCO박막양품.대양품R-T곡선진행분석, 득도료상술인소대박막초도전성적영향규률, 병진일보설명료저사인소대박막적초도전성조성영향적원인.통과여맥충격광침적기술류비, 정량분석료침적과정중파여기편거리동침적기압지간적관계.
