电工材料
電工材料
전공재료
ELECTRICAL ENGINEERING MATERIALS
2008年
2期
38-42
,共5页
ZnO%p型掺杂%共掺杂
ZnO%p型摻雜%共摻雜
ZnO%p형참잡%공참잡
ZnO是一种很有前途的宽带隙半导体材料,在光电器件的应用上,实现高质量的p型掺杂是其关键所在.迄今,已有大量p型掺杂ZnO薄膜的研究报道,但是要获得高质量的可重复的p型ZnO薄膜却十分困难.本文就p型ZnO薄膜的掺杂最新研究进展进行了详细论述,并展望了其制备前景.
ZnO是一種很有前途的寬帶隙半導體材料,在光電器件的應用上,實現高質量的p型摻雜是其關鍵所在.迄今,已有大量p型摻雜ZnO薄膜的研究報道,但是要穫得高質量的可重複的p型ZnO薄膜卻十分睏難.本文就p型ZnO薄膜的摻雜最新研究進展進行瞭詳細論述,併展望瞭其製備前景.
ZnO시일충흔유전도적관대극반도체재료,재광전기건적응용상,실현고질량적p형참잡시기관건소재.흘금,이유대량p형참잡ZnO박막적연구보도,단시요획득고질량적가중복적p형ZnO박막각십분곤난.본문취p형ZnO박막적참잡최신연구진전진행료상세논술,병전망료기제비전경.