航空材料学报
航空材料學報
항공재료학보
JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS
2011年
z1期
135-139
,共5页
黄浩%文懋%陈大明%李臻熙%黄旭
黃浩%文懋%陳大明%李臻熙%黃旭
황호%문무%진대명%리진희%황욱
靶基距%PVD%钛合金
靶基距%PVD%鈦閤金
파기거%PVD%태합금
在SiC纤维表面利用直流磁控溅射PVD(Physical Vapor Deposition)技术沉积钛合金是制备钛基复合材料的重要工艺过程.研究了直流磁控PVD技术在SiC纤维表面沉积钛合金工艺中,靶基距对涂层厚度分布,结构演变,薄膜生长的影响,并通过表面轮廓仪,XRD(X-Ray Diffraction),原子力显微镜对涂层进行表征.结果表明:随着靶基距的减小,涂层均匀性降低,沉积率增加,能量增高,生长模式由V型柱状晶变为等轴柱状晶;柱状晶由多个纳米柱状晶合并形成.
在SiC纖維錶麵利用直流磁控濺射PVD(Physical Vapor Deposition)技術沉積鈦閤金是製備鈦基複閤材料的重要工藝過程.研究瞭直流磁控PVD技術在SiC纖維錶麵沉積鈦閤金工藝中,靶基距對塗層厚度分佈,結構縯變,薄膜生長的影響,併通過錶麵輪廓儀,XRD(X-Ray Diffraction),原子力顯微鏡對塗層進行錶徵.結果錶明:隨著靶基距的減小,塗層均勻性降低,沉積率增加,能量增高,生長模式由V型柱狀晶變為等軸柱狀晶;柱狀晶由多箇納米柱狀晶閤併形成.
재SiC섬유표면이용직류자공천사PVD(Physical Vapor Deposition)기술침적태합금시제비태기복합재료적중요공예과정.연구료직류자공PVD기술재SiC섬유표면침적태합금공예중,파기거대도층후도분포,결구연변,박막생장적영향,병통과표면륜곽의,XRD(X-Ray Diffraction),원자력현미경대도층진행표정.결과표명:수착파기거적감소,도층균균성강저,침적솔증가,능량증고,생장모식유V형주상정변위등축주상정;주상정유다개납미주상정합병형성.
