纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2004年
1期
8-15
,共8页
纳米计量光栅%纳米测量%莫尔条纹%细分误差%纳米机械
納米計量光柵%納米測量%莫爾條紋%細分誤差%納米機械
납미계량광책%납미측량%막이조문%세분오차%납미궤계
作者及其同事们经过20多年努力将计量光栅技术提高到了纳米量级和亚纳米量级,并进行了大面积推广应用,形成了一整套纳米光栅测量技术,该文为对这套技术的综合论述.首先回顾了刻线技术的发展历史,指出中国古代曾作出杰出贡献.归纳了发展计量光栅技术的5个阶段和4项内容.给出纳米光栅的定义和两个特点,并通过作者和同事们的光栅制造过程说明,纳米光栅实质上是一种刻录、固化到光栅基体上的光波波长.它为纳米测量领域提供了一种新途径、新方法,与激光干涉仪等现有纳米测量方法相比,具有自己独特的优点.文中讨论了纳米光栅的读取技术与信号处理技术,提出了纳米光栅细分误差的错位测量法.还讨论了与纳米光栅相关的纳米机械,介绍了作者和同事们的科研成果,圆柱、导轨等的机械精度已经进入了纳米量级.最后讨论了纳米光栅与激光干涉仪以及高等级量块的比对结果.
作者及其同事們經過20多年努力將計量光柵技術提高到瞭納米量級和亞納米量級,併進行瞭大麵積推廣應用,形成瞭一整套納米光柵測量技術,該文為對這套技術的綜閤論述.首先迴顧瞭刻線技術的髮展歷史,指齣中國古代曾作齣傑齣貢獻.歸納瞭髮展計量光柵技術的5箇階段和4項內容.給齣納米光柵的定義和兩箇特點,併通過作者和同事們的光柵製造過程說明,納米光柵實質上是一種刻錄、固化到光柵基體上的光波波長.它為納米測量領域提供瞭一種新途徑、新方法,與激光榦涉儀等現有納米測量方法相比,具有自己獨特的優點.文中討論瞭納米光柵的讀取技術與信號處理技術,提齣瞭納米光柵細分誤差的錯位測量法.還討論瞭與納米光柵相關的納米機械,介紹瞭作者和同事們的科研成果,圓柱、導軌等的機械精度已經進入瞭納米量級.最後討論瞭納米光柵與激光榦涉儀以及高等級量塊的比對結果.
작자급기동사문경과20다년노력장계량광책기술제고도료납미량급화아납미량급,병진행료대면적추엄응용,형성료일정투납미광책측량기술,해문위대저투기술적종합논술.수선회고료각선기술적발전역사,지출중국고대증작출걸출공헌.귀납료발전계량광책기술적5개계단화4항내용.급출납미광책적정의화량개특점,병통과작자화동사문적광책제조과정설명,납미광책실질상시일충각록、고화도광책기체상적광파파장.타위납미측량영역제공료일충신도경、신방법,여격광간섭의등현유납미측량방법상비,구유자기독특적우점.문중토론료납미광책적독취기술여신호처리기술,제출료납미광책세분오차적착위측량법.환토론료여납미광책상관적납미궤계,개소료작자화동사문적과연성과,원주、도궤등적궤계정도이경진입료납미량급.최후토론료납미광책여격광간섭의이급고등급량괴적비대결과.
