铁电薄膜热释电非致冷红外传感器研究
철전박막열석전비치랭홍외전감기연구
Investigation of Ferroelectric Thin Films Uncooled Pyroelectric Infrared Sensors
  • 万方数据
    仪表技术与传感器 의표기술여전감기
    INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
    2004年 2期 3-4,28 ,共3页

    刘梅冬%陈实%李元昕%曾亦可%姜胜林%邓传益%刘少波

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    阐述了铁电薄膜热释电非致冷红外传感器的工作原理,对铁电薄膜材料的要求及sol-gel铁电薄膜电性能.研究了BST铁电薄膜红外传感器的制备工艺与测试方法.研制出单元和8元、9元、10元线列铁电薄膜热释电非致冷红外传感器.
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