垂直腔面发射激光器材料的X射线双晶衍射分析
수직강면발사격광기재료적X사선쌍정연사분석
A Study on Characteristics of VCSEL Material Structure
  • 万方数据
    长春理工大学学报 장춘리공대학학보
    JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2004年 2期 35-36,34 ,共3页

    刘文莉%李林%钟景昌%张永明%赵英杰%郝永琴%王勇%苏伟%晏长岭

    류문리%리림%종경창%장영명%조영걸%학영금%왕용%소위%안장령

    X射线双晶衍射%回摆曲线%卫星峰 X射線雙晶衍射%迴襬麯線%衛星峰
    X사선쌍정연사%회파곡선%위성봉
    利用X射线双晶衍射方法,测定了垂直腔面发射激光器(VCSEL)材料的衍射回摆曲线,除了主衍射峰("0"级衍射峰外),还观察到一级和二级卫星峰.同时对实验样品的双晶衍射回摆曲线中衍射峰的劈裂现象进行了理论分析."0"级衍射峰半高宽与衬底GaAs的衍射峰半高宽比较接近,表明晶格具有很高的完整性.由这些衍射峰之间的角距离,计算出了VCSEL材料的周期D及Al含量x值.X射线双晶衍射结果表明生长所得结构与设计相符合.
    이용X사선쌍정연사방법,측정료수직강면발사격광기(VCSEL)재료적연사회파곡선,제료주연사봉("0"급연사봉외),환관찰도일급화이급위성봉.동시대실험양품적쌍정연사회파곡선중연사봉적벽렬현상진행료이론분석."0"급연사봉반고관여츤저GaAs적연사봉반고관비교접근,표명정격구유흔고적완정성.유저사연사봉지간적각거리,계산출료VCSEL재료적주기D급Al함량x치.X사선쌍정연사결과표명생장소득결구여설계상부합.
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