安徽电子信息职业技术学院学报
安徽電子信息職業技術學院學報
안휘전자신식직업기술학원학보
JOURNAL OF ANHUI VOCATIONAL COLLEGE OF ELECTRONICS & INFORMATION TECHNOLOGY
2005年
3期
97-98
,共2页
李素云%马修水%程蒲%李光
李素雲%馬脩水%程蒲%李光
리소운%마수수%정포%리광
微机电系统%微传感器%微执行器
微機電繫統%微傳感器%微執行器
미궤전계통%미전감기%미집행기
主要介绍了微机电系统的发展、设计与传统的加工工艺,并对 MEMS的应用及发展前景作了简要概述.
主要介紹瞭微機電繫統的髮展、設計與傳統的加工工藝,併對 MEMS的應用及髮展前景作瞭簡要概述.
주요개소료미궤전계통적발전、설계여전통적가공공예,병대 MEMS적응용급발전전경작료간요개술.
