感光科学与光化学
感光科學與光化學
감광과학여광화학
PHOTOGRAPHIC SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2006年
5期
377-381
,共5页
褚战星%程龙%王文君%王力元
褚戰星%程龍%王文君%王力元
저전성%정룡%왕문군%왕력원
正型光致抗蚀剂%二乙烯基醚%丙烯海松酸%光产酸剂
正型光緻抗蝕劑%二乙烯基醚%丙烯海鬆痠%光產痠劑
정형광치항식제%이을희기미%병희해송산%광산산제
通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸--丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下.
通過鬆香痠和丙烯痠的Diels-Alder反應得到瞭一種二痠--丙烯海鬆痠.丙烯海鬆痠有大的脂環結構和良好的成膜性,在固體膜層中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加熱條件下(80℃以上)髮生反應,產物在稀堿水中難溶.這樣形成的產物在光產痠劑產生的彊痠催化下,在溫度高于100℃時,可以迅速分解,從而變成稀堿水易溶.因此,用此二痠、二乙烯基醚和產痠劑可組成一種正型的光緻抗蝕劑,噹用254 nm的低壓汞燈曝光時,其感度在30 mJ/cm2以下.
통과송향산화병희산적Diels-Alder반응득도료일충이산--병희해송산.병희해송산유대적지배결구화량호적성막성,재고체막층중,타가이화이을희기미,여1,3-이을희양기을양기분,재가열조건하(80℃이상)발생반응,산물재희감수중난용.저양형성적산물재광산산제산생적강산최화하,재온도고우100℃시,가이신속분해,종이변성희감수역용.인차,용차이산、이을희기미화산산제가조성일충정형적광치항식제,당용254 nm적저압홍등폭광시,기감도재30 mJ/cm2이하.
