上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2006年
10期
1763-1766
,共4页
刘艳%董云杉%戴嘉维%李戈扬
劉豔%董雲杉%戴嘉維%李戈颺
류염%동운삼%대가유%리과양
Nb-Si-N薄膜%反应溅射%微结构%力学性能
Nb-Si-N薄膜%反應濺射%微結構%力學性能
Nb-Si-N박막%반응천사%미결구%역학성능
在Ar、N2和SiH4混合气体中,通过反应磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的Nb-Si-N复合薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和微力学探针表征了复合薄膜的成分、相组成、微结构和力学性能.结果表明,采用反应磁控溅射技术通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Nb-Si-N薄膜.少量Si的加入使薄膜得到强化,并在Si含量为3.4%时达到硬度和弹性模量的最高值,分别为53 GPa和521 GPa.进一步增加Si含量,薄膜的硬度和弹性模量逐步降低.Nb-Si-N薄膜力学性能的提高与其晶体缺陷的增加有关.
在Ar、N2和SiH4混閤氣體中,通過反應磁控濺射方法製備瞭一繫列不同Si含量的Nb-Si-N複閤薄膜,採用EDS、XRD、TEM、AFM和微力學探針錶徵瞭複閤薄膜的成分、相組成、微結構和力學性能.結果錶明,採用反應磁控濺射技術通過控製混閤氣體中SiH4分壓可以方便地穫得不同Si含量的Nb-Si-N薄膜.少量Si的加入使薄膜得到彊化,併在Si含量為3.4%時達到硬度和彈性模量的最高值,分彆為53 GPa和521 GPa.進一步增加Si含量,薄膜的硬度和彈性模量逐步降低.Nb-Si-N薄膜力學性能的提高與其晶體缺陷的增加有關.
재Ar、N2화SiH4혼합기체중,통과반응자공천사방법제비료일계렬불동Si함량적Nb-Si-N복합박막,채용EDS、XRD、TEM、AFM화미역학탐침표정료복합박막적성분、상조성、미결구화역학성능.결과표명,채용반응자공천사기술통과공제혼합기체중SiH4분압가이방편지획득불동Si함량적Nb-Si-N박막.소량Si적가입사박막득도강화,병재Si함량위3.4%시체도경도화탄성모량적최고치,분별위53 GPa화521 GPa.진일보증가Si함량,박막적경도화탄성모량축보강저.Nb-Si-N박막역학성능적제고여기정체결함적증가유관.
