电力电子技术
電力電子技術
전력전자기술
POWER ELECTRONICS
2008年
12期
39-40
,共2页
高建峰%邓宏洲%高山城%赵卫
高建峰%鄧宏洲%高山城%趙衛
고건봉%산굉주%고산성%조위
镀膜%电子束加热/镀厚膜
鍍膜%電子束加熱/鍍厚膜
도막%전자속가열/도후막
通过分析现有镀膜工艺设备的电子束加热原理、结构和热量损耗,并针对实际应用过程中镀膜存在的问题,提出了对现有设备的改进措施,开发出一种新的镀厚膜工艺,较好解决了芯片镀厚膜的工艺技术难题和存在的镀厚膜工艺质量问题,大大提高了镀厚膜工艺的工作效率,极大地改善了特高压超大功率电力电子器件的电性能参数,收到了良好的效果.
通過分析現有鍍膜工藝設備的電子束加熱原理、結構和熱量損耗,併針對實際應用過程中鍍膜存在的問題,提齣瞭對現有設備的改進措施,開髮齣一種新的鍍厚膜工藝,較好解決瞭芯片鍍厚膜的工藝技術難題和存在的鍍厚膜工藝質量問題,大大提高瞭鍍厚膜工藝的工作效率,極大地改善瞭特高壓超大功率電力電子器件的電性能參數,收到瞭良好的效果.
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