光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
1期
93-97,102
,共6页
光学检测%旋转非对称项绝对检测%仿真分析
光學檢測%鏇轉非對稱項絕對檢測%倣真分析
광학검측%선전비대칭항절대검측%방진분석
为满足光学元件的高精度检测要求,绝对检测技术取代传统相对检测技术被越来越多的用于光学检测过程中.然而传统绝对检测法检测都有各自适用的范围且检测过程复杂对实验仪器的精度要求较高.在某些只需要获得旋转非对称面型误差的检测领域旋转平均法成为一种简单易行的绝对检测手段.旋转平均法适用于平面、球面与非球面旋转非对称面型检测.本文对旋转平均法的原理进行了介绍,利用光学设计软件对旋转平均法的检测过程进行仿真.利用仿真检测对待测面形的旋转非对称项误差及kNθ旋转对称项进行量化分析,仿真分析出的结果与理论结果较好的吻合.仿真分析的实验结果表明:利用旋转平移法可有效提高非旋转对称面形检测的精度,实验仿真模型可有效对实际检测过程进行仿真.
為滿足光學元件的高精度檢測要求,絕對檢測技術取代傳統相對檢測技術被越來越多的用于光學檢測過程中.然而傳統絕對檢測法檢測都有各自適用的範圍且檢測過程複雜對實驗儀器的精度要求較高.在某些隻需要穫得鏇轉非對稱麵型誤差的檢測領域鏇轉平均法成為一種簡單易行的絕對檢測手段.鏇轉平均法適用于平麵、毬麵與非毬麵鏇轉非對稱麵型檢測.本文對鏇轉平均法的原理進行瞭介紹,利用光學設計軟件對鏇轉平均法的檢測過程進行倣真.利用倣真檢測對待測麵形的鏇轉非對稱項誤差及kNθ鏇轉對稱項進行量化分析,倣真分析齣的結果與理論結果較好的吻閤.倣真分析的實驗結果錶明:利用鏇轉平移法可有效提高非鏇轉對稱麵形檢測的精度,實驗倣真模型可有效對實際檢測過程進行倣真.
위만족광학원건적고정도검측요구,절대검측기술취대전통상대검측기술피월래월다적용우광학검측과정중.연이전통절대검측법검측도유각자괄용적범위차검측과정복잡대실험의기적정도요구교고.재모사지수요획득선전비대칭면형오차적검측영역선전평균법성위일충간단역행적절대검측수단.선전평균법괄용우평면、구면여비구면선전비대칭면형검측.본문대선전평균법적원리진행료개소,이용광학설계연건대선전평균법적검측과정진행방진.이용방진검측대대측면형적선전비대칭항오차급kNθ선전대칭항진행양화분석,방진분석출적결과여이론결과교호적문합.방진분석적실험결과표명:이용선전평이법가유효제고비선전대칭면형검측적정도,실험방진모형가유효대실제검측과정진행방진.
