控制理论与应用
控製理論與應用
공제이론여응용
CONTROL THEORY & APPLICATIONS
2011年
1期
94-100
,共7页
CZ单晶炉%炉膛温度信号%低频干扰%滤波%傅立叶级数%自适应噪声抵消%粒子群优化
CZ單晶爐%爐膛溫度信號%低頻榦擾%濾波%傅立葉級數%自適應譟聲牴消%粒子群優化
CZ단정로%로당온도신호%저빈간우%려파%부립협급수%자괄응조성저소%입자군우화
为滤除CZ单晶炉炉膛温度信号在单晶生长过程中存在的低频干扰,提出一种基于噪声抵消技术的滤波方法.首先利用傅立叶级数构造出低频干扰的逼近信号,然后根据炉温信号的缓变特征建立能够获取低频干扰逼近信号的抵消器误差函数,最后利用一种改进的粒子群优化算法优化误差函数获得低频干扰的逼近信号,并用该逼近信号抵消低频干扰.实验结果表明,所提出的自适应噪声抵消滤波算法能够有效滤除CZ单晶炉炉膛温度信号中的低频干扰,并优于常用的滤波方法.
為濾除CZ單晶爐爐膛溫度信號在單晶生長過程中存在的低頻榦擾,提齣一種基于譟聲牴消技術的濾波方法.首先利用傅立葉級數構造齣低頻榦擾的逼近信號,然後根據爐溫信號的緩變特徵建立能夠穫取低頻榦擾逼近信號的牴消器誤差函數,最後利用一種改進的粒子群優化算法優化誤差函數穫得低頻榦擾的逼近信號,併用該逼近信號牴消低頻榦擾.實驗結果錶明,所提齣的自適應譟聲牴消濾波算法能夠有效濾除CZ單晶爐爐膛溫度信號中的低頻榦擾,併優于常用的濾波方法.
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