金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2004年
3期
10-13
,共4页
王传新%汪建华%满卫东%傅朝坤%李克林%马志斌%王升高%康志成
王傳新%汪建華%滿衛東%傅朝坤%李剋林%馬誌斌%王升高%康誌成
왕전신%왕건화%만위동%부조곤%리극림%마지빈%왕승고%강지성
YG6硬质合金%HFCVD%金刚石薄膜%Ti过渡层
YG6硬質閤金%HFCVD%金剛石薄膜%Ti過渡層
YG6경질합금%HFCVD%금강석박막%Ti과도층
以WC-6%Co为基体,采用磁控溅射法,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层,然后碳化过渡层为TiC.在热丝化学气相沉积装置中,制备金刚石薄膜.研究三种不同试样上的金刚石薄膜与基体的附着力.结果表明,在原始试样上的金刚石薄膜在冷却过程中自动脱落;在经等离子体处理后的试样上,金刚石薄膜与基体间附着力高于在经酸蚀处理的试样上的金刚石薄膜与基体附着力.造成这种现象的主要原因可能是等离子体脱碳还原处理降低WC晶粒表面能,增强Ti与WC间的结合强度,导致TiC过渡层与WC基体结合强度增加,从而增加金刚石薄膜附着力.
以WC-6%Co為基體,採用磁控濺射法,在原始試樣、痠腐蝕試樣以及痠蝕後進行氫等離子體脫碳處理的試樣上製備Ti過渡層,然後碳化過渡層為TiC.在熱絲化學氣相沉積裝置中,製備金剛石薄膜.研究三種不同試樣上的金剛石薄膜與基體的附著力.結果錶明,在原始試樣上的金剛石薄膜在冷卻過程中自動脫落;在經等離子體處理後的試樣上,金剛石薄膜與基體間附著力高于在經痠蝕處理的試樣上的金剛石薄膜與基體附著力.造成這種現象的主要原因可能是等離子體脫碳還原處理降低WC晶粒錶麵能,增彊Ti與WC間的結閤彊度,導緻TiC過渡層與WC基體結閤彊度增加,從而增加金剛石薄膜附著力.
이WC-6%Co위기체,채용자공천사법,재원시시양、산부식시양이급산식후진행경등리자체탈탄처리적시양상제비Ti과도층,연후탄화과도층위TiC.재열사화학기상침적장치중,제비금강석박막.연구삼충불동시양상적금강석박막여기체적부착력.결과표명,재원시시양상적금강석박막재냉각과정중자동탈락;재경등리자체처리후적시양상,금강석박막여기체간부착력고우재경산식처리적시양상적금강석박막여기체부착력.조성저충현상적주요원인가능시등리자체탈탄환원처리강저WC정립표면능,증강Ti여WC간적결합강도,도치TiC과도층여WC기체결합강도증가,종이증가금강석박막부착력.
